2020年06月30日
3.PDS固态源有那么多优势为什么我几乎没有听说过？
PDS固态源在世界范围内有非常多的商业量产的实绩，几十年来客户的持续使用也证明了产品的稳定性。在中国早期有非常多的工程师了解这个工艺。由于离子注入和液态气态有非常多的从业者从而导致整个工艺为行业所熟悉，高端的会选用离子注入，低端的会选择液态气态。目前由于1）国家环保要求，液态气态源的生产会面临一定的环保风险， 2）MEMS器件的生产扩张，高浓度扩散需要热扩散工艺，3）中高品位产品的需求增长，PDS固态源收到了越来越多的询盘。
4.PDS固态源有什么局限性？
PDS固态源目前可以做到的极限尺寸为8“;
只能适用于水平炉管而不能用于垂直炉管;
原来液态气态扩散路需要进行气路改造才能使用，过程需要通氮气;
需要专用的石英舟配合.
5.PDS固态源的技术支持够吗？
圣戈班从事该产品的生产快50年，过去有自己的扩散炉设备，在一次又一次的售前售后技术支持中，累计大量的实际生产数据以及问题解决的方案。我们绝不是只销售产品，我们也提供相关的工艺支持，石英舟涉及，使用知道手册等书面资料，在每一个客户的不同要求里，我们会提供有针对性的解决方案。
https://www.saint-gobain.com.cn/ceramic/product/abrasive-grains
